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机译:嵌入具有大光学带隙的非晶碳化硅薄膜中的高导电纳米晶硅的形成
Yang Ji; Dan Shan; Mingqing Qian; Jun Xu; Wei Li; Kunji Chen;
机译:高光学带隙嵌入非晶碳化硅膜中的高导电纳米晶硅的形成
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